جیسا کہ ہم سب جانتے ہیں، دنیا میں صرف ایک صنعت کار ہے جو EUV لتھوگرافی تیار کر سکتا ہے، وہ ہے۔نیدرلینڈ کی ASML.
دنیا میں صرف ایک صنعت کار ہونے کی وجہ یہ ہے کہ ASML نے بہت سے اہم مینوفیکچررز کو آپس میں جوڑ دیا ہے، جیسے Zeiss (Zeiss)، ایک جرمن آپٹکس کمپنی، Cymer (USA)، اورTRUMPF (جرمنی)۔
ASML نے ان مینوفیکچررز کو سرمایہ کاری، حصول، شیئر ہولڈنگ، تحقیقی مراکز کے قیام، وغیرہ کے ذریعے اپنے رتھ سے باندھ رکھا ہے، اور یہ مینوفیکچررز، شاید دنیا کے واحد مینوفیکچررز ہیں جو یہ مصنوعات تیار کر سکتے ہیں، لہٰذا بالآخر دنیا میں صرف ASML ہی پیدا کر سکتا ہے۔ EUV لتھوگرافی تیار کریں۔
تاہم، حال ہی میں، ASML کی ایک کلیدی سپلائی چین، شینزین، چین میں ایک فیکٹری بنانے کے لیے بھاگی، اس کا شینزین ذیلی ادارہ Baoan Sino-German (Europe) Industrial Demonstration Park میں آباد ہوا۔
یہ کارخانہ دار جرمنی کا TRUMPF گروپ (TRUMPF) ہے، یہ ASML کی EUV لتھوگرافی ہے، جو دنیا کا واحد لیزر سورس سپلائر ہے۔
EUV لتھوگرافی میں TRUMPF مصنوعات، کتنا اہم؟ سب سے پہلے، مجھے EUV لتھوگرافی کے اصول کی وضاحت سنیں، آپ سمجھ جائیں گے.
EUV لیتھوگرافی کا اصول، سادہ الفاظ میں، تین بڑے نظاموں پر مرکوز ہے، EUV الٹرا وائلٹ لائٹ سورس سسٹم، معروضی آئینے کا نظام، اور ٹیبل سسٹم۔
مخصوص عمل انتہائی الٹرا وائلٹ روشنی کی 13.5nm طول موج کو اکسانے کے لیے لیزر کا استعمال کرنا ہے، جسے پھر درست کر کے روشنی کی ایک کنٹرول شدہ شہتیر بنا دیا جاتا ہے، جسے پھر نمائشی ٹیبل پر معروضی آئینے کے ذریعے پیش کرنے سے پہلے فوٹو ماسک ٹیبل پر پیش کیا جاتا ہے۔ اور آخر میں فوٹو ریزسٹ کے ساتھ لیپت سلیکون ویفر پر ایک سرکٹ میں کھینچا گیا۔
کس طرح EUV UV لائٹ سورس سسٹم میں سے ایک 30 kW پاور CO2 لیزر کے ساتھ ٹن (Sn) دھاتی بوندوں پر بمباری کرکے، اسے پلازما میں بخارات بنا کر، اور آخر میں 13.5 nm طول موج پر EUV روشنی حاصل کرکے حاصل کیا جاتا ہے۔
یہ 30 کلو واٹ CO2 لیزر TRUMPF کی طرف سے فراہم کیا جاتا ہے، جو دنیا میں واحد ہے۔
اس CO2 لیزر کو کم نہ سمجھیں، اس کے 457,329 حصے ہیں، سسٹم میں کیبل کی لمبائی 7,322 میٹر تک ہے، اور وزن 17,090 کلوگرام ہے، جو EUV لیتھوگرافی میں سب سے اہم بنیادی اجزاء میں سے ایک ہے۔
اب TRUMPF ایک فیکٹری بنانے کے لیے چین چلا گیا، نیت صاف ہے، یعنی چینی لیزر مارکیٹ کے بارے میں پر امید، اور اس سے بھی زیادہ طویل مدتی نظریہ، چینی لتھوگرافی مارکیٹ کے بارے میں پر امید، مستقبل میں EUV لتھوگرافی کی تعمیر کے لیے چین کے ساتھ تعاون کر سکتا ہے۔ .
درحقیقت، ایک فیکٹری بنانے کے لیے ایک سے زیادہ ASML سپلائی چین پہلے سے ہی چل رہی ہے، وہاں KMWE اور دیگر مینوفیکچررز بھی ہیں، چین کو بھی فیکٹری بنانے کے لیے۔
موجودہ رجحان کے مطابق، ہم امید مندانہ طور پر توقع کر سکتے ہیں کہ چین کی لتھوگرافی ٹیکنالوجی ایک بڑا قدم آگے بڑھے گی، اور یہاں تک کہ آؤٹ پٹ EUV لتھوگرافی کا حجم بھی آگے نہیں بڑھ سکتا، کیا آپ کو لگتا ہے؟
